2024-10-29 까지의 사용 예정건만 예약 가능
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담당자 일정에 따라 사전 예고 없이 분석 신청 취소 될 수 있습니다.(연가, 타장비 중복의뢰, 기기점검 등) 담당자 테스트 통과자만 직접사용 가능(위반 시 패널티 적용) 직접사용 교육일정 담당자와 협의(교육가능시간: 10시~12시, 13시~17시) 당일 예약 취소 불가(전날 주중 18시까지 취소 가능, 당일 취소 요청 시 분석료 부과) 일정 조정 관계로 당일 분석의뢰 예약 불가 직접사용으로 인해 발생하는 과실에 대한 책임은 사용자에게 있음을 알려드립니다. 외부 의뢰 시 결제 후 사용가능
-장비 예약 가능 기간 변경 안내- 예약 가능 기간: 신청일 포함 30일 미만(기존) >>> 신청일 포함 15일 이하(변경) 시행일시: 2023년 1월 2일 |
• 원리
전자총에서 발생된 전자가 전자계장을 통과하면서 보다 더 좋은 Image를 관찰할 수 있는 방식의 전자현미경으로 일반적인 전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)과는 약간 다른 Lens구조를 가지고 있으며 이는 초저가속전압(1kV이하)에서 고배율(x100,000이상)의 Image를 시료의 전처리(Pt 또는 Au Coating)없이 쉽게 관찰할 수 있는 전자현미경이다.
• 특성
Super Hybrid Lens 구조를 가지고 있어 코팅없이 고배율 관찰뿐 만 아니라 자동화 기능이 내장되어 있어 가속전압 20kV에서 0.1kV로 변화한 뒤 수 초이내 바로 Image를 관찰할 수 있다. 또한 500nA의 탐침전류(Probe Current)를 인가할 수 있어 EDS를 통한 성분분석 뿐만 아니라 금속, 재료시료의 EBSD를 통한 Diffraction pattern 등의 관찰에도 상당히 편리한 특성을 가지고 있다.
• JSM-7900F
- Resolution: 0.6nm at 15kV
0.7nm at 1kV
1nm at 500V
- Magnification: x25 to 1,000,000
- Accelerating Voltage: 0.01 to 30kV
- Probe Current: A few pA to 500nA
- Detector: Upper Electron Detector(UED)
Upper Secondary Electron Detector(USD)
Lower Electron Detector(LED)
Retractable Backscattered Electron Detector(BED)
- Aperture Angle Control Lens: Built-in
- Specimen Stage: Fully Eucentric Goniometer stage
- Specimen Movement
X: 70mm(motor driven)
Y: 50mm(motor driven)
Z: 2 to 41mm(motor driven)
Tilt: -5 to 70°(motor driven)
Rotation: 360°(motor driven)
• EDS(Aztec Live)
- Resolution: 127eV at Mn Ka, 20,000 cps
- Detector: Analytical Silicon Drift Detector(SDD Type), LN2 Free
- Detectable electrons: 4 Be to 94 Pu
- Sens Area: 65mm2
초저가속전압에서의 고배율 Image가 구현가능하므로 전자 Beam의 Damage에 영향을 받는 Polymer, film 등 유기물 관찰 및 sub-nano scal의 Image관찰, 자장Sample의 고배율 관찰 및 관찰부위의 정성, 정량분석 및 Mapping 관찰
해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면, 교외는 교외요금 기준 부가세 10% 별도임
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함
| 분석항목 | 단가(직접사용) | 단가(분석의뢰) | 단위 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| 이미지 관찰 | 60,000원 |
60,000원 |
시간 | |
| 이미지+EDS 분석 | 80,000원 |
80,000원 |
시간 | |
| 이미지+EBSD 분석 | 100,000원 |
100,000원 |
시간 | |
| Pt 코팅 | 14,000원 |
20,000원 |
회 | |
| Au 코팅 | 10,000원 |
14,000원 |
회 |
