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Field-Emission Electron Probe Micro-Analyzer
전계방사 전자현미분석기
  • 호실
    219호
  • 제조사(모델)
    JEOL (JXA-8530F PLUS)
  • 담당자
    김진주
  • 이메일
    jjkim_@gnu.ac.kr
  • 연락처
    010-4729-5093
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<공지사항>

 

* 기기 사용자는 반드시 사전연락(e-mail) 후 예약진행 바랍니다. 임의 신청인 경우 일정이 변동될 수 있습니다.

 

 

1. 정량 분석시 반드시 담당자와 협의 후 신청 가능 

2. 정량 분석은 규산염광물, 산화광물, 황화광물, 희토류광물 가능(탄산염광물 불가)

 * 정량 분석 시, 시료 정보란에 '분석 원소'를 반드시 기재해야 함

3. 예약 가능기간은 현재일로부터 2개월까지 가능

4. 시료 표면은 1um이하로 연마해야 함

5. 박편(28mm*48mm) 또는 연마편(1인치) 분석 가능

 

원리 및 특성

EPMA는 광물, 금속, 무기재료, 반도체 등 고체시료의 화학조성을 알아낼 수 있는 장비로서, Be4에서부터 U92에 이르기까지 거의 모든 원소의 측정이 가능하다. 특히, 본 장비는 Schottky type field emission electron gun이 장착되어 있어 높고 안정적인 Probe current 인가가 가능하고, 고배율 분석과 미소 영역에 대한 고정밀 정량분석이 가능하다.
전자현미분석기는 가속화된 전자빔을 시료에 충돌시켜서 이때 발생되는 특성 X-선의 스펙트럼을 측정한 뒤, 이 값을 표준시료에서 측정된 값과 비교하여 원소의 함량을 결정한다. 비파괴분석이라는 장점이 있으며, SEI, BEI 검출기가 달려있기 때문에 샘플표면을 관찰할 수 있고, 점분석 외에도 선분석, 면분석이 가능하다.

규격

  • WDS : 5 Channels (elements : 5B to 92U)
  • EDS : 1 Channels (elements : 5B to 92U)
  • SEI resolution : 2nm (at 30kV, 1x10-12A, WD=11mm)
  • Acceleration voltage : 1 to 30kV (0.1kV steps)
  • Probe current range : 1x10-12 to 5x10-7A (at 25kV)
  • Magnification : x40 to 1,000,000 (WD=11mm)

적용(응용)분야

1. 지질학 : 광물감정 및 결정화학, 암석기재 및 분류, 암석의 생성환경 연구, 상평형 연구, 원소분화 연구, 운석연구, 토양오염의 원소거동 
2. 재료학 및 금속학 : 상 변화 및 결함연구, 원소의 확산 및 희귀상 연구, 미립상의 화학조성 및 구조, 박막의 화학특성 규명, 소재의 경량원소(O~Be) 분석 
3. 의학 및 생물학 : 치과학의 원소확산연구, 생물세포의 무기원소분포, 의약품 및 촉매연구

사용료

해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면, 교외는 교외요금 기준 부가세 10% 별도임
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

분석항목 단가(직접사용) 단가(분석의뢰) 단위 비고
기기분석
1,000,000원
8시간(1일) 주간
기기분석
500,000원
4시간(반일) 주간
기기분석
300,000원
시간 야간
코팅(카본)
20,000원
관련자료


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첨단소재분석센터 TEL.055-772-4661 E-MAIL. htmacf@gnu.ac.kr
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