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Field-Emission Scanning Electron Microscope II
전계방사 주사전자현미경 II
  • 호실
    215호
  • 제조사(모델)
    JEOL (JSM-7610F)
  • 담당자
    성은종
  • 이메일
    ejsung@gnu.ac.kr
  • 연락처
    055-772-0671
예약/신청하기
즐겨찾는기기 추가
신청가능 시간    2024-10-15 까지의 사용 예정건만 예약 가능
분석시간 주말, 공휴일, 담당자 부재시
직접사용

09:00 ~ 18:00

09:00 ~ 18:00

09:00 ~ 18:00

09:00 ~ 18:00

09:00 ~ 18:00

사용불가

담당자 일정에 따라 사전 예고 없이 분석 신청 취소 될 수 있습니다.(연가, 타장비 중복의뢰, 기기점검 등)

직접사용만 가능한 장비로써 담당자 테스트 통과자만 사용 가능

직접사용 교육일정 담당자와 협의(교육가능시간: 10시~12시, 13시~17시)

당일 예약 취소 불가(전날 주중 18시까지 취소 가능, 당일 취소 요청 시 분석료 부과) 

직접사용으로 인해 발생하는 과실에 대한 책임은 사용자에게 있음을 알려드립니다.

외부 사용 시 결제 후 사용가능

 

-장비 예약 가능 기간 변경 안내-

예약 가능 기간: 신청일 포함 30일 미만(기존) >>> 신청일 포함 15일 이하(변경) 

시행일시: 2023년 1월 2일 

원리 및 특성

전계방출형 주사전자현미경은 일반적인 현미경인 열전자 방출방식의 Gun과 달리 electron source인 filament metal 표면에 electricfiled를 걸어주어 전자를 방출시키는 gun type의 현미경이다. 이러한 현미경의 가장 큰 특징은 high resolution의 image를 관찰 할 수 있다는 장점과 쉽게 electron beam의 damage를 입는 시료들에 대해서 낮은 가속전압에서 비교적 고배율 관찰이 용이하다.

규격

*  FE-SEM 

◆ Resolution : 1.0nm at 15kV 1.5nm at 1kV 

◆ Magnification :  x25 to x1,000,000

◆ Accelerating Voltage : 0.1kV to 30kV

◆ Probe Current : 1pA to 200nA

◆ Aperture Angle  Optimizing Lens : Built-In

◆ Energy Filter : Built-In (New r-Filter)

◆ Gentle Beam : Built-In

◆ Specimen Exchange Chamber : One Action Specimen Exchange (Built-In)

◆ Specimen Stage : Eucentric, 5 axis motor control

◆ Evacuation system : SIP 2 sets for GuTMP, RP, Fore-line Trip*  EDS

◆ Resolution : 127eV at  Mn Ka, 20,000cps

◆ Detector : Analytical Silicon Drift Detector (SDD)

◆ Detectable elements : Be4 ~ Pu94

◆ Detectable Window size : 50mm2

◆ Liquid Nitrogen free type detector

적용(응용)분야

  - 고해상도/고배율 표면구조 관찰

  -  나노 수준 미세구조의 표면 관찰

  -  각종 유기물/무기물 시료(필름, 섬유, 입자, 금속 등) 관찰

  -  원소 분석(점분석, 선분석, 면분석)

사용료

해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면, 교외는 교외요금 기준 부가세 10% 별도임
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

분석항목 단가(직접사용) 단가(분석의뢰) 단위 비고
이미지 관찰
40,000원
시간
이미지+EDS 분석
60,000원
시간
Pt 코팅
14,000원
Au 코팅
10,000원
관련자료


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첨단소재분석센터 TEL.055-772-4661 E-MAIL. htmacf@gnu.ac.kr
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